半导体通明导电氧化薄膜（TCO）具备优良的光学和电学机能，可见光区高透射率，红外区高反射率和微波强衰减性，同时具备低的电阻率，是功效资料中具备特点的一类薄膜， 已普遍操纵于太阳能电池、真空电子器件、防护涂层、电磁屏障等范畴中。可是，ITO薄膜在等离子体中表现不不变，在太阳能电池范畴的操纵受限。 用作无机发光二管阳极时，In 向无机层的分散会影响发光效力。ITO的脆性也限定其在柔性光电东西中的操纵，很难制备高品德的柔ITO薄膜。另外ITO薄膜的首要成份铟贮量少且有毒，质料本钱高，风险情况和人类的安康，其操纵也遭到必然限定。ZnO膜系中的ZnO:Al（ZAO）薄膜具备和ITO薄膜比拟拟的光电机能,且ZAO薄膜质料储量丰硕、本钱低、热不变性高和化学不变性较高、易于加工。今朝天生ZAO薄膜的工艺方式有：磁控溅射法、真空蒸发镀膜法、溶胶-凝胶法、激光份子束内涵法、金属无机化学堆积法、脉冲激光堆积法和超声喷雾热解法等，此中磁控溅射法相较于其余工艺具备薄膜堆积速率快，工艺步骤简略，仪器装备能耗低，高温下可大面积持续平均镀膜，合用于多量量出产制作的长处。本文接纳磁控溅射法在衬底上制备ZAO薄膜，偏重点阐发了ZAO薄膜的光学机能。

光学机能的探讨操纵UV-8000型紫外-best365网页版登录 丈量薄膜的可见光透射率。图1是在差别衬底温度下所制备的Al搀杂量2%的ZAO薄膜的透光率曲线，由图可见，ZAO薄膜具备较着的停止接收边，在300~800 nm入射波长规模内ZAO薄膜的可见光透过率变更不是很大，ZAO薄膜的可见光透射率在差别衬底温度下均到达80 %以上，某些波段透光率乃至能够到达95 %，证实ZAO薄膜具备杰出的透射率。在本尝试前提下衬底温度为200 ℃时的ZAO薄膜透光率可达85%。

图1 掺Al量2%的ZAO薄膜差别衬底温度下透过率

成果显现，本尝试前提下，制备的ZAO薄膜结晶有序，缺点较低，择优取向发展，衬底温度200℃时薄膜具备杰出的可见光透射率。

[1] 磁控溅射法制备ZAO薄膜的机能阐发[J]. 张宇.电大理工.2022（01）